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真空泵是一種廣泛應用于半導體制造、化學、醫藥、食品和飲料等行業的設備。它的主要功能是產生并維持一個低壓環境，以便于氣體的抽取和處理。然而，像所有機械設備一樣，ULVAC真空泵在使用過程中也可能會出現各種故障。
在整個鋼液處置過程中，體系的真空度是跟著鋼液的放氣量的削減而不斷升高的。在鋼液處置前期，體系真空度低，放氣量大，需求前級泵的抽氣才能大，通常選用多個泵并聯的方式增大體系的抽氣量。而當體系真空度不斷升高時，體系的放氣量也隨之削減，為了下降蒸汽耗量，節省能源，需封閉前級并聯泵中的若干只。
主要表現為真空泵加電后不能啟動運轉。這時應首先檢查真空泵的電路部分，如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后，應考慮主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承；電機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了。
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