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預防維修有兩種具體模式，一是定期預防維修，就是按照真空設備的耗損周期計劃安排的停機檢修；二是狀態維修，就是對設備狀態進行監測，發現故障隱患或者潛在故障，及時安排適時維修，將故障消滅在萌芽狀態。
預防維修的另外一種形式是機會維修。即利用生產的淡季、假日、周末或者上下游停機檢修的機會進行的預防性維修。維修的“機會”可以是適當延長檢修周期，也可以是適當的將檢修周期縮短，經過論證，這種延長或者縮短是不會對設備造成重大損壞的。這樣的預防維修也稱為機會維修。無論是采取何種預防維修方式，都是在設備故障停機前的處理，目的是避免故障的發生。
真空泵的維護：
1.經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。
2.真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。
3.檢查油的位置。
4.經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油。
5.真空泵在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。
6.換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。
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