quark/準分子照射裝置的應用是什么？

來源：深圳九州工業品有限公司 2023年09月01日 10:21

準分子照射裝置

應用實例

光掩模檢查前的中和

晶圓靜電消除（防止電路損壞）

玻璃表面有機物去除（干洗）

涂裝前表面改性（提高附著力）

鍍前表面改性（精細鍍層滲透）

電子基板的預貼合處理（提高附著力）

什么是準分子燈？

準分子燈是一種可以照射真空紫外光的光源，其發光原理和結構與傳統的放電燈（汞燈、氙燈等）不同。

準分子燈產生波長為172 nm的真空紫外光（VUV），其光子能量比傳統光清潔和改性中使用的汞燈（波長為185 nm和254 nm）更高。

它可以立即打開和關閉，不需要空轉。

扁平型

半導體	QEF-300SPC	QEF-230SPC	QEF-160	QEF-100	QEF-35ST	QEF-35ST-V126
波長	172納米					126納米
公用事業	氮氣/冷卻水/AC100-240V
分配	±5%		±7%
照射孔徑	φ332mm	218×218毫米	167×167毫米	φ100mm	φ35mm	φ35mm
兼容的工作尺寸	12英寸	8英寸	6寸	4英寸	–	–
照度（最大窗口表面）	80毫瓦/平方厘米	80毫瓦/平方厘米	30毫瓦/平方厘米	30毫瓦/平方厘米	5毫瓦/平方厘米	5毫瓦/平方厘米

管型

相關產品

凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。