耐高溫晶圓鑷子(Rubis晶圓鑷子)又叫做精密鑷子,導靜電鑷子,簡稱PEEK具有耐高溫, 耐磨損性,耐化學品腐蝕、阻燃等諸多顯菩優勢:
A.可在2509C下長期使用,在高溫下能保持較高的強度,尺寸穩定性較好,線脹系數較小,非常接近于金屬鋁材料; .
B.(Rubis晶圓鑷子)具有突出的摩擦學特性,耐滑動磨損和微動磨損性能優異,尤其是能在250°C下保持高的耐磨性和低的摩擦系數,因此,夾取晶圓,硅片的時候,不會對晶圓,硅片的表面產生劃痕,不會因摩擦而對晶圓,硅片產生殘留物,從而提高了晶圓,硅片的表面潔凈度。
C.耐化學藥品性強,在通常的化學藥品中,只有98%的濃硫酸能溶解或者破壞它,它的耐腐蝕性與鎳鋼相近,同時其自身具有阻燃性,在火焰條件下釋放煙和有毒氣體少,抗輻射能力強。
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