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微量氣體流量計適用于檢測微小氣體流量，在精密半導體產業、氣體泄漏探測、真空鍍膜等領域有著廣泛的應用。
儀器通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。
溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。
當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
技術優勢：
(1）多通道可以做平行實驗，提高工作效率；
（2）產品小型化：長寬高45*25*22cm，不占用實驗室空間；
（3）測量精度高：可根據需求選擇不同的測量精度，最小可達30微升（μL）；
（4）測量范圍：30μL/h-2L/h
（5）測量精度：＜1%
（6）可以集成pH模塊，實時在線測試pH值，適合于某些需要監測pH值的反應體系，如各類微生物發酵、化學催化體系等；
（7）適用于各類氣體的測量，采用特殊材質，可用于腐蝕性氣體的測量；
（8）氣體測量后，可直接排放，或者被氣體收集裝置收集，用作進一步分析；
（9）軟件實時、自動、在線測量和記錄數據。
15通道微量氣體流量計為實驗室研發的一款高精度氣體流量計，精度可達30微升(μL)。能夠非常準確地測量氣體體積，尤其適合產氣量極少（毫升到升級別）的各種科學實驗。有單通道和多通道多種選擇。
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