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微量氣體流量計是為測量微量的氣體而專門設計的，能夠對極微量的惰性氣體、腐蝕性氣體進行準確實時在線監測計量，具有測試準確、設計緊湊、材質輕盈等特點，被廣泛應用于惰性氣體及輕微腐蝕性氣體流量的測量。同時，該產品非常適合應用于沼氣生產過程、產氫暗發酵、生物燃料乙醇等領域的研究。
微量氣體流量計的保養方式：
一、表面擦拭步驟：1.先用干細棉布或擦拭紙擦拭表面，以擦拭其灰塵或測量后機件遺留的油污等。2.再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭外表面，酒精具揮發性會自然蒸發。3.必要時，可使用花崗巖專用保養油再擦拭。
二、流量計外表擦拭步驟：1.先用干細棉布或擦拭紙擦拭流量計，以擦拭其灰塵或油污塵或油污等。2.也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。3.必要時，可再用干凈細干棉布沾上工業用酒精或高級潤滑油，擦拭磨擦表面。微量氣體流量計潤滑部分保養步驟：1.先用細棉布將灰塵擦拭干凈。2.流量計潤滑部分再加入潤滑機油、或由黃油槍加入等，小心注意其儀器外表勿受傷。2.再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表面。
三、流量計鏡面擦拭步驟：1.先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡面表面，勿用力以免傷及鏡面。2.再用棉花棒沾工業用酒精，輕輕擦拭鏡面表面，并需等酒精揮發后，再裝回去。3.鏡面擦拭可區分成校正玻璃片及鏡頭內透鏡組，由于灰塵粒子會造成成像的黑點，鏡面擦拭至為重要，裝置后需重新借著影像觀察擦拭結果。
四、流量計傳動部分：分干磨擦部分及潤滑部分，干磨擦部分又有氣浮軸承及無牙絲桿傳動機構之區分。干磨擦部分保養步驟：1.先用干細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表面，以擦拭其灰塵或油污等。2.也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。3.必要時，可再用干凈細干棉布沾上工業用酒精或高級潤滑油，擦拭磨擦表面。微量氣體流量計潤滑部分保養步驟：1.先用細棉布將灰塵擦拭干凈。2.潤滑部分再加入潤滑機油、或由黃油槍加入.
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