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X射線熒光光譜儀是基于X射線的一種分析技術，當一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能，將該軌道電子逐出，形成一個空穴使原子處于激發態，由于激發態不穩定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態，躍遷時釋放出的能量以輻射的形式放出便產生X熒光。
X熒光具有特征的波長，對應的即是特征的能量，通過對光子的特征波長進行辨識，XRF能實現對元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強度，實現元素的定量和半定量分析。
下面我們來看看X射線熒光光譜儀該如何維護保養：
1、探測器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測器品質變壞。
2、真空系統是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對于真空泵，主要是應該定期檢查真空泵油的油質和油量，檢查油質時如果有白色或黑色，就說明油質不正常，應該立即更換泵油。
3、X射線熒光光譜儀中昂貴的部分是高壓 X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導率都有嚴格的要求，其佳冷卻水溫為 22℃～24℃，一般不能超過 30℃，超過 35℃則使用壽命會大大降低。內部循環水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內部循環水為電導率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導率＜2 μs／cm），以防高壓擊穿導致 x射線光管損壞。
4、分光晶體是具有把 X 射線熒光按波長順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。
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