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氧分析儀進行氧含量分析尤其是微量氧分析時，由于空氣中氧含量高達21％O2，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正確。其主要原因是氧氣微氧分析儀操作不當造成。
泄漏和污染影響氧氣微氧分析儀測定的因素：
泄漏。氧分析儀在初次啟用前必須嚴格檢漏。氧分析儀只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及氧分析儀內部，從而得出含氧量偏高的結果。
污染。在重新使用氧分析儀時，首先須注意在連接氧分析儀的取樣管路時是否漏入空氣，并且必須認真將漏入氧分析儀的空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過氧氣微氧分析儀的傳感器以延長傳感器壽命。在管道系統凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化氧氣微氧分析儀管道。
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