多軸氣浮運動臺成為應用趨勢，伴隨著半導體行業的快速發展，相應的加工檢測設備也會逐漸地提高性能，因此很多公司都使用氣浮臺，這是一種用于半導體加工、檢測、微納加工、測試測量等高精度設備，但到底有哪些主要優勢。

1.直線性和平面性高。

2.高定位精度和重復定位。

3.速度穩定。

4.偏擺、縱搖、滾動精度高。

氣浮運動臺的高直度和平面度取決于氣浮導軌，材料分為鋁合金、大理石、碳化硅陶瓷等，研究其壓力分布、氣源壓力、節流器、均壓槽深度等參數，找出了氣膜剛度的參數區間，具有出色的性能精度，實現了高壓氣膜剛度的參數區間，并具有4G的加速度。

事實上，材料的選擇和用戶的應用有著密切的聯系，單從性價比的角度來看，碳化硅陶瓷材料的氣浮運動臺精度高，當然成本也很高，鋁合金與大理石材料的同樣性能價格比，鋁合金加工成本更低，鋁合金材料成本更低。

采用*的直線電機驅動，選用不帶鐵芯的設計，具有無齒槽效應，高動態性能及電流噪聲小等特點，使在運動過程中能達到超平穩的效果，另外配置光柵尺閉環反饋及*性控制系統，實現高精度和重復定位精度。

因此，從各方向的優點來看，多軸氣浮運動臺已成為目前從事高精密應用行業的選擇，可以提高整個系統的精度性能。

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