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高真空蒸發(fā)鍍膜儀需要怎樣的維護(hù)和保養(yǎng)？
高真空蒸發(fā)鍍膜儀可提供大100A鍍膜電流，大蒸發(fā)溫度高達(dá)1800℃，可滿足各種普通金屬和部分非金屬的蒸發(fā)。真空室采用高純石英，易于觀察鍍膜過程，易清洗；結(jié)合分子泵組，可達(dá)到5x10-4pa的極限真空度，有效保證氣相沉積膜的純度和附著力。
全自動(dòng)程序控制，彩色觸摸屏界面，操作簡(jiǎn)單，可鍍金（AU）、鉑（PT）等非氧化性貴金屬，也可鍍銥（IR）、鉻（CR）、鋁(AL)等細(xì)小顆粒易氧化膜材料。特別適用于場(chǎng)發(fā)射電鏡、透射電鏡樣品制備和非晶碳包覆膜/TEM網(wǎng)格支撐膜的制作，也可為薄膜應(yīng)用等材料領(lǐng)域提供理想的鍍膜平臺(tái)。那么它需要怎樣的維護(hù)和保養(yǎng)？
1、高真空蒸發(fā)鍍膜儀每完成200道以上的鍍膜工序，應(yīng)清洗一次工作間。方法是用飽和燒堿（NaOH）溶液反復(fù)擦洗真空室壁（注意人體皮膚不能直接接觸燒堿溶液，以免燙傷）。目的是使涂膜材料鋁（AL）與NaOH反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，釋放氫氣。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布擦凈精抽閥內(nèi)的污垢。
2、粗抽泵（滑閥泵和旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季一半）時(shí)，需要更換新油。方法是：擰下開油螺栓，排盡舊油，然后啟動(dòng)泵數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油*排出。擰上回油螺栓，將新油加至規(guī)定量（用油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)打開油蓋，用布擦凈箱內(nèi)臟物。
3、高真空蒸發(fā)鍍膜儀擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上，抽速明顯慢或操作不當(dāng)。充入大氣，拆下連接水管，拆下電爐板，擰出噴嘴，用汽油清洗泵腔和泵囊，然后用洗衣粉和水清洗，再用水*清洗。待水揮發(fā)后，裝上泵膽，加新的擴(kuò)散泵油，裝回機(jī)體，接好水管，裝上電爐板，即可重新啟動(dòng)。重啟前注意漏電檢測(cè)。方法是：?jiǎn)?dòng)維護(hù)泵，關(guān)閉閘門，幾分鐘后觀察擴(kuò)散泵的真空度是否達(dá)到6x10pa，或進(jìn)行泄漏檢測(cè)。檢查接頭處是否安裝密封膠圈或密封圈是否損壞。排除潛在的漏氣后才能進(jìn)行加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒壞環(huán)而不能進(jìn)入工作狀態(tài)。
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