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MKS真空提升閥LPV1-50-AK-CLKS技術(shù)數(shù)據(jù)

來(lái)源:北京凱盛源科技有限公司   2022年07月13日 15:52  

MKS真空提升閥LPV1-50-AK-CLKS技術(shù)數(shù)據(jù)

類型低剖面、單級(jí)、波紋管密封提升閥


真空范圍大氣到1.0 x 10-9托


車身配置角度


港口SizeNW50


法蘭尺寸W50


法蘭類型ISO KF


氦泄漏率1.0 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒


啟動(dòng)氣動(dòng)


限位開(kāi)關(guān)編號(hào)


密封氟橡膠


氣缸容積6.4英寸3


氣缸氣壓90 psig±30 psig


啟動(dòng)時(shí)間打開(kāi):0.45秒,關(guān)閉:1.13秒


內(nèi)部彈簧閉合壓力60 psia


烘烤溫度150°C


典型壽命1000000周期


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