以輝光放電或高頻放電（其它放電方式也 類同）產生低溫等離子體時，首先是自由電子從 電場中獲得能量，成為高能量電子，當這種高能 鼠電子與氣體中的分子或原子碰撞時，如電子 的能量比分子或原子的激發能大，就可以產生 激發分子或激發原子、自由基、離子和各種能量 的輻射線等.這些不穩定的粒子和輻射線，將 通過不同的方式將其能量轉移到置于系統中的 高分子材料表面，從而產生種種物理化學反應。

低溫等離子體中的中性粒子，如原子、激發 態分子或原子等，將其平動能和振動能傳給高 分子材料，使后者表面加熱。而其離解能（自由 基）則通過在高分子材料表面進行的消除、加 成、氧化等化學反應而消耗掉，駕可以通過在固 體表面進行自由基復合而形成加熱。激發態原 子，或是以輻射光量子的形式釋放出原來吸收 的能量返回基態，或是過渡到具有io-*-10- 秒壽命的亞穩態，再與高分子材料表面作用，使 后者表面大分子產生自由基。

低溫等離子體中的荷電粒子，主要是電子 和帶正電荷的正離子，它們的濃度為10"cmT 左右，比中性粒子濃度要低得多。,具有較高動 能的電子轟擊到材料表面，使其產生大分子自 由基。正離子的動能較低，但其攜帶的電能足 夠高時，可使高分子材料表面由于電子轉移，而 產生大分子離子。