PSA制氧系統主要由空氣壓縮機、活性炭過濾器、空氣冷干機、空氣緩沖罐、制氧主機、氧氣壓縮機等組成。原料空氣經吸入口過濾器除掉灰塵顆粒后,被空氣壓縮機增壓至0.5Mpa，首先由活性炭過濾器除空壓機剛開機時壓縮空氣夾帶的少量油份，再經空氣冷干機冷凝除水，而進入制氧主機的一只吸附器內。吸附器內裝填吸附劑,其中水分、二氧化碳及少量其它氣體組分在吸附器入口處被裝填于底部的活性氧化鋁所吸附,隨后氮氣被裝填于活性氧化鋁上部的分子篩所吸附。而氧氣為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產品氣排至氧氣平衡罐，經氧氣壓縮機增至所需的用氧壓力，送入至后續用氧工段使用。    

   　　當制氧主機的一只吸附器吸附到一定程度    ,其中的吸附劑將達到飽和狀態,此時通過切換閥放空，已吸附的水分、二氧化碳、氮氣及少量其它氣體組分排至大氣,吸附劑得到再生。制氧主機的兩個吸附器都交替執行以下步驟:---吸附---解吸---清洗---沖壓，    

   　　上述四個基本的工藝步驟由    PLC和切換閥系統來實現自動控制，從而制得穩定的產品氧氣。