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探針接觸式輪廓儀系統采用掃描探針顯微鏡光學杠桿位移檢測技術和超平基準面大樣品臺掃描技術，與壓電陶瓷（PZT）掃描結合。在不損失精度的情況下，可以獲得超大樣本的整體三維輪廓，呈現局部三維形狀圖像。采用超高平整度光學拋光平臺掃描樣品臺參考平面，有效解決絲杠公差導致的測試結果亞微米誤差。
1、探針接觸式輪廓儀與掃描探針顯微鏡的結合。
2、雙模式操作（掃描和樣品臺掃描）即使在遠距離測量中也可以獲得最佳的小區域3D映射。
3、3D形貌測量在干涉級提供亞納米分辨率。
4、在任何物鏡放大倍數下都保證亞納米垂直分辨率。
5、多種物鏡可選，包括長工作距離物鏡、玻璃校正物鏡、水鏡、油鏡等
6、多環境測量，包括真空、大氣、液體、透光窗、溫濕度可控環境等。
探針接觸式輪廓儀提供可重復、可靠和準確的測量：從傳統的臺階高度測量和二維粗糙度的表面表征到先進的三維形態和薄膜應力分析，已被廣泛接受為測量薄膜厚度、應力、表面粗糙度和形貌的黃金標準，并已應用于從學術研究到半導體過程控制的各個領域。
探針輪廓儀使用在表面上移動通過感測針的高度和波動來確定表面輪廓。探針輪廓儀可以測量高達LMM的高度。該輪廓儀的工作原理類似于留聲機。通常，被測表面在探頭下方移動，但探頭也可能在表面上移動。探頭的垂直運動由線性變化的差動變壓器（LVDT）測量，然后將測量信號轉換為高度數據。探頭由硬質材料制成，例如金剛石。曲率半徑在0.05μm和50μm之間，這決定了儀器的橫向分辨率。
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