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電感耦合等離子體質譜是20世紀80年代發展起來的無機元素和同位素分析測試技術，它以*的接口技術將電感耦合等離子體的高溫電離特性與質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種高靈敏度的分析技術。
電感耦合等離子體質譜的紅做原理產生熱的問題、腐蝕、化學侵蝕、堵塞、基體沉淀和漂移的可能性都比其它原子譜儀器要高得多。然而只要充分認識到這一事實，對儀器組件定期檢查可以減輕甚至消除這些潛在的問題。
ICP矩管維護保養
對于ICP矩管，特別是使用次數較多的矩管，矩管內壁會不斷累積樣品，導致檢測過程出現殘留效應，需要定期進行更換清洗。清洗矩管過程中，必須按照廠家手冊操作對ICP矩管進行拆卸清洗，清洗完畢安裝時必須保證各氣路與矩管相接的部分具有良好的氣密性。
對于年限較長的ICP-MS，矩管部分的連接處氣密性差，可以在原有墊圈的基礎上再多加一個橡膠墊圈，并在矩管玻璃上纏一小圈耐高溫生料帶，保證電極針能夠插入的足夠深，以方便點火。
點火易出現的問題
點火過程中如果發現第一次點火失敗，繼續嘗試多次點火能成功點燃，說明管路中可能存在空氣，在多次點火操作時，氬氣逐漸充滿管路，將管路中多余的空氣排出，故多次點火后可以點燃。
出現這種情況建議先用氬氣吹掃管路再點火，具體而言就是在點火前手動控制Ar氣閥門，吹掃管路空氣3-5min，再嘗試自動點火，一般就能夠一次點火成功。
通風
通常的大型儀器都必須配備有通風管用于排出廢氣和輔助散熱。通風管路根據儀器安裝準備條件，滿足儀器至低風量要求即可，一般出現故障的概率較小，須注意的是防止雨水飄進通風管中引起倒灌。針對需要潔凈空氣的儀器實驗室，在通風機進氣端可以加上初效及高效過濾網，并定期進行更換，防止灰塵堵塞濾網，以保證通風的壓力正常并具有足夠量的新鮮風進入儀器冷卻部位。
冷卻循環水機
冷卻循環水機是降低ICP-MS發熱的重要部件。若其管路水流不暢，可導致儀器發熱部位溫度過高而報錯或非正常熄火。
通常冷卻循環水機水槽及管路中需要加入廠家特定的冷卻液，也可以用超純水代替，超純水可以降低水槽及管壁的腐蝕，同時定期更換也可以減弱水中藻類、細菌等的生長(該因素也可能導致管壁的腐蝕)，如果在循環水機管壁中還存在過濾海綿，當有相當量腐蝕不溶物存在時，可導致海綿的大面積堵塞，影響水流速度，進而影響冷卻效率，通常表現在儀器開機運行一段時間后(大約 1-2 h)，在沒有任何別的提示時熄火。
循環水機的冷卻水需要定期更換，部分儀器例如Nu Plasma II MC-ICP-MS循環水機水箱中配有水質檢測器，可以監控循環水質，當電流超過0.015A時，提示需要更換循環水。而普通ICP-MS可以考慮每隔3-6個月更換一次。
在更換循環水的過程中，一般采用虹吸原理、或重力自流將原有循環水排出，加入新水。需要注意的是，儀器管路中還存在一部分殘留水，無法一次*更換。
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