臭氧發生器氧氣源系統：是指一套提供符合臭氧產生要求的原料氧氣的設備，將一定度的氧氣送入臭氧發生器產生臭氧，一般有現場制氧和液態氧兩種方式。

現場制氧：現場制氧即變壓吸附制氧設備，是以空氣為原料，以沸石分子篩為吸附劑，利用變壓吸附原理，即加壓吸附，常壓（PSA）或真空（VSA或VPSA）解吸兩種方式制取氧氣的設備。在一定的壓力下，利用空氣中氧、氮在沸石分子篩表面的吸附量的差異，即沸石分子篩對氮的擴散吸附遠大于氧，在一定時間內氮在吸附相富集，氧在氣體相富集，從而實現氧氮分離。

液態氧系統是隨著制氧技術的不斷提高以及氧氣作為工業產品被大規模使用，經低溫深冷空分裝置分離出的液態氧被作為商品直接從生產廠家購入，使用廠家將液氧汽化處理后送入臭氧發生器的裝置，包括液氧儲槽、汽化器、減壓裝置、熱交換器等裝置。