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薄膜是一種物質形態，它所使用的膜材料非常廣泛，可以是單質元素或化合物，也可以是無機材料或有機材料。薄膜與塊狀物質一樣，可以是單晶態的，多晶態的或非晶態的。近年來功能材料薄膜和復合薄膜也有很大發展。鍍膜技術及薄膜產品在工業上的應用非常廣泛，尤其是在電子材料與元器件工業領域中占有及其重要的地位。
鍍膜方法可以分為氣相生成法，氧化法，離子注入法，擴散法，電鍍法，涂布法，液相生長法等。氣相生成法又可分為物理氣相沉積法，化學氣相沉積法和放電聚合法等。
真空蒸發，濺射鍍膜和離子鍍等通常稱為物理氣相沉積法，是基本的薄膜制備技術。它們都要求淀積薄膜的空間要有一定的真空度。所以，真空技術是薄膜制作技術的基礎，獲得并保持所需的真空環境，是鍍膜的必要條件。
真空系統的種類繁多。在實際工作中，必須根據自己的工作重點進行選擇。典型的真空系統包括：獲得真空的設備（真空泵），待抽空的容器（真空室），測量真空的器具（真空計）以及必要的管道，閥門和其它附屬設備。
▲爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。
▲加熱形式有電阻及感應式兩種，電阻加熱材料有鉬絲（帶）、鎢絲（帶）、石墨棒（板）、鉭棒、鎳鉻絲（帶）幾種類型，可根據不同的溫度和工藝要求進行選擇。
▲加熱保溫層有金屬型和復合型兩種，根據不同工藝條件進行選擇。
▲真空系統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵等以及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成，根據工藝要求可自行選擇。
▲溫度控制系統可選擇不同類型的測溫儀、控溫儀表及它們的傳感元件。
▲真空測量可選擇數字式智能真空計及優質的測量規管，確保真空度的準確性及產品可靠性。
▲可以配備多點記錄儀，進行全程工藝分析、質量監控及生產管理。
▲根據設備使用特點，可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。
▲可根據使用要求配有各種充氣類型、質量流量計、浮子流量計等，滿足充氣壓力可控、多路充氣等要求。
▲對超溫、溫度偏差大、爐體、泵、熱交換器等缺水、擴散泵缺相、爐體充氣過壓、氣源壓力不足、過流過壓、斷路等異常情況進行聲光報警并執行相應保護措施。
▲快冷卻系統可選擇自然冷卻及熱交換器循環方式，對于容量大的電爐可采用外循環快冷卻系統，提高降溫速度。
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