大氣中的氣態氟化物主要是HF，也可能有少量的SiF4和CF4，含氟的粉塵主要是冰晶石(Na3AlF6)、螢石(CaF2)、氟化鋁(AlF3)、氟化鈉(NaF)及磷灰石等。氟化物屬高毒類物質，由呼吸道進入人體，會引起粘膜刺激、中毒等癥狀，并能影響各組織和器官的正常生理功能，對植物的生長、發育也會產生危害。

測定大氣中氟化物的方法有吸光光度法、濾膜(或濾紙)采樣-氟離子選擇電極法等。
濾膜采樣-氟離子選擇電極法:用磷酸氫二鉀溶液浸漬的玻璃纖維濾膜或碳酸氫鈉-甘油溶液浸漬的玻璃纖維濾膜采樣，則大氣中的氣態氟化物被吸收固定，塵態氟化物同時被阻留在濾膜上，采樣后的濾膜用水或酸浸取后，用氟離子選擇電極法測定。
自然界中的氟化物主要來源于火山爆發、高氟溫泉、干旱土壤、含氟巖石的風化釋放以及化石燃料的燃燒等。這些氟化物可以分布在空氣中，也可以溶解在水體中。空氣中的氟化物主要分為氣態和顆粒狀固態。

氟化物氣體是一個系列，例如六氟化硫，三氟甲烷，六氟乙烷等十幾種氣態化合物。

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