干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用和發(fā)展。國(guó)外的干泵市場(chǎng)正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，有螺桿式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。

抽除易燃易爆及腐蝕性介質(zhì)怎么辦？

*，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應(yīng)才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉(zhuǎn)子上做一些防腐涂層來延緩腐蝕速率。

但是由于干式真空泵運(yùn)行時(shí)內(nèi)部存在苛刻的熱條件，所以使用上述耐腐蝕材料來處理腐蝕性介質(zhì)對(duì)無油干式真空泵是不適合的。

此外使用鐵劑金屬高鍍鎳涂層材質(zhì)，一旦出現(xiàn)細(xì)微的裂紋就會(huì)導(dǎo)致材料產(chǎn)生迅速的電化學(xué)腐蝕。那么是不是只要特殊設(shè)計(jì)能可靠地控制溫度的設(shè)備把腐蝕性介質(zhì)保持在氣相狀態(tài)，沒有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了？雅之雷德機(jī)電科技答案是肯定的。該泵應(yīng)用其自身*的冷卻系統(tǒng)，可以調(diào)整泵腔內(nèi)及轉(zhuǎn)子的溫度，使之沒有離子形式存在，全都?xì)饣瑥亩苊飧g。所以此螺桿干式真空泵轉(zhuǎn)子采用不銹鋼，不做任何涂層，降低了成本，增加了安全性能。

評(píng)價(jià)爆炸有兩個(gè)指標(biāo)：可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。因?yàn)槁輻U干式真空泵中的兩個(gè)螺桿在泵體內(nèi)沒有摩擦，所以不會(huì)產(chǎn)生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達(dá)到，從而杜絕爆炸！

干式真空泵是行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)，干式真空泵使工作容積中無油，因此帶來了不少益處。有些立式螺桿真空泵通過對(duì)內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的防爆條例的要求。由于能夠維持小的內(nèi)部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng)；輕松的輸送腐蝕性介質(zhì)，安全的輸送易燃易爆氣體。適于處理含固體微粒介質(zhì)并且不需要加過濾器。