SMC冷水機深冷器溫控器循環液溫調裝置水冷式深冷器高性能型HRW
工廠循環水的直接熱交換器。
用于在無需冷凍機的溫度范圍內進行溫控。
溫度穩定性高、溫度范圍大、有故障診斷、外部通信等功能，廣泛用于半導體行業。
符合UL, SEMI規格及CE標識。
可選擇變頻型。
設定溫度范圍：20～90℃
冷卻能力：2kW, 8kW, 15kW, 30kW
溫度穩定性：±0.3℃。
冷卻方式：水冷卻式（無冷凍機） 
循環液：氟化液、清水、脫離子水（純水）、乙二醇水溶液（60％）

型號：
HRW002-H
HRW008-H
HRW015-H
HRW030-H
HRZ001-L
HRZ002-L
HRZ004-L
HRZ008-L
HRZ001-H
HRZ002-H
HRZ004-H
HRZ008-H
HRZ002-W
HRZ008-W
HRZ010-WS
HRZ010-W1S
HRZ010-W2S
HRR012-A
HRR018-A
HRR024-A
HRR030-A
HRR012-W
HRR018-W
HRR024-W
HRR030-W
HRZD020-WS-WS 
HRL100-A-20
HRL200-A-20
HRL300-A-20