測量顯微鏡是光學計量儀器之一種，是指配有瞄準顯微鏡和坐標工作臺的用于二維坐標尺寸測量的光學計量儀器。測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試，是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。測量顯微鏡的功能主要有以下幾點：
1、直角坐標中測定長度。
2、旋轉度盤測定角度。
3、用作觀察顯微鏡。
4、利用測量顯微鏡微動載物臺的移動，配全目鏡的十字座標線，作長度量測。
5、利用旋轉載物臺與目鏡下端之游標微分角度盤，配全合目鏡之址字座標線，作角度量測，令待測角一端對準十字線與之重合，然再讓另一端也重合。
6、利用標準檢測螺紋的節距、節徑、外徑、牙角及牙形等尺寸或外形。
7、檢驗金相表面的晶粒狀況。
8、檢驗工件加工表面的情況。
9、檢測微小工件的尺寸或輪廓是否與標準片相符。

測量顯微鏡的注意事項
1、測量顯微鏡的使用、維護是技術性較強的工作，對操作人員應進行專業技能培訓，掌握必要的操作技能和建立必要的工作檢查制度。
2、對測量顯微鏡要注意正確合理安排使用。儀器的存放地點應避免灰塵、潮濕、氣溫突變或含有酸堿性的氣體環境。
3、測量顯微鏡的光學部件有：目鏡、物鏡、玻璃工作臺等，光學零件的表面油污灰塵清潔，可用脫脂棉花蘸以少許酒精，輕輕揩拭，切勿將鏡片擦毛。
4、測量顯微鏡維護、保養、調試，未經技術培訓不具備專業技能的人員不要隨意拆卸調試和清洗加油。
5、電源系統出現故障，需先切斷電源，再進行檢查。透射照明燈泡需要更換燈泡，拆除底蓋，進行檢查更換。