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光學輪廓儀主要功能

來源:優尼康科技有限公司   2019年11月01日 11:45  

1.ZSI:剪切干涉測量技術提供z向高分辨率圖像。

2.ZFT:使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率。


3.AOI:自動光學檢測,并對樣品上的缺陷進行量化。

4.ZXI:白光干涉測量技術,適用于z向分辨率高的廣域測量。

5.ZDot:同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。

6.ZIC:干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數據。

7.生產能力:通過測序和圖案識別實現全自動測量。

8.光學輪廓儀可用于樣品復檢或缺陷檢測的高質量顯微鏡。

9.采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光學器件的簡單易用的光學輪廓儀,具有廣泛的應用。

10.晶圓傳送機械臂: 自動加載直徑為50mm至200mm的不透明(如硅)和透明(如藍寶石)樣品。

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