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超純水設備用于超純水（指電阻值大于15兆歐以上的純水）的制取，一般用于電子、新材料、制藥、科研等行業。超純水制取過程中需要去除水體中的懸浮雜質、溶解水體中的鹽分離子以及水中的微生物等雜質。
目前超純水制取工藝：一般分三步。
1、采用預處理+反滲透法處理工藝制得純水；
預處理：主要去除水體中的懸浮物：泥沙、膠體等雜質。
RO反滲透膜分離脫鹽：超純水制取過程中98%的鹽分依靠反滲透去除，RO反滲透是一種以壓力差為推動力，從溶液中分離出溶劑的膜分離操作。因為它和自然滲透的方向相反，故稱反滲透。根據各種物料的不同滲透壓，就可以使用大于滲透壓的反滲透壓力，即反滲透法，達到分離、提取、純化和濃縮的目的。
2、采用離子交換或EDI等工藝生產出18.2兆歐超純水；
EDI電除鹽精處理去離子：EDI設備又稱連續電除鹽技術，它科學地將電滲析技術和離子交換技術融為一體，通過陽、陰離子膜對陽、陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用，在電場的作用下實現水中離子的定向遷移，從而達到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進行連續再生，因此EDI制水過程不需酸、堿化學藥品再生即可連續制取高品質超純水，它具有技術*、結構緊湊、操作簡便的優點。這一新技術可以代替傳統的混床離子交換裝置，生產出電阻率高達15MΩ·CM以上的超純水。
3、依據特殊要求針對性的后處理，如TOC\顆粒度\微生物等指標要求的控制。
UV紫外線殺菌器：紫外線殺菌器優點為輻照強度穩定性高，殺菌壽命長達9000小時，高透過率石英玻璃管，透光率≥87%，單價也比同類產品適中，殺菌壽命達8000小時后，其輻照強度在253.7um保持穩定不變，殺菌率能夠達到99.99%。
拋光末端純凈處理：拋光樹脂一般用于超純水處理系統末端，來保證系統出水水質能夠維持用水標準。一般出水水質都能達到18兆歐以上，以及對TOC、SIO2都有一定的控制能力。拋光樹脂出廠的離子型態都是H、OH型，裝填后及可使用無需再生。
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