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概述
希望準確檢測” 從部件到成品，品質檢查的方方面面
近來，隨著產品設計多樣化，檢查外觀時對單個部件的品質管理要求越來越高，人們期望能夠在不降低生產節拍的情況下進行品質檢查，實現“邊移動邊穩定測量”。ZW-7000/5000系列充分發揮了白光共焦方式的優點，即使各種材質和形狀混在一起也能進行穩定測量
用小光點如實測量
激光位移傳感器在測量段差及間隙時，存在發生多面反射導致形狀輪廓模糊、邊緣檢測位置波動、位置檢測精度下降等問題。ZW-5000憑借10μm的小光點，可避免發生多面反射，形狀輪廓清晰，從而提高位置檢測精度。
傾斜·曲面
相較于以往的激光位移傳感器，即使是光澤面也能進行傾斜、曲面的高精度形狀測量。
材質混在一起
根據材質的不同，以往的激光位移傳感器需要改變傳感頭的種類和安裝方向，每次都要花費調整時間。
白光共焦位移傳感器無需區分使用傳感頭和安裝方向，可邊移動邊進行各種材質的測量。
粗糙面*2的平坦度
使用以往的激光位移傳感器時，來自工件的多重反射光會誘發測量值跳動，因此無法掌握本來希望測量的“平坦度”。另外，傳感頭的朝向和測量線的方向會造成更大的偏差。
白光共焦位移傳感器不受多重反射光的影響，可1次性測量近似于實際形狀的高度。
忠實測量工件形狀的高速采樣
使用激光位移傳感器時，移動測量會導致精度劣化，需要增加平均次數，因此出現了形狀再現性較差的問題。ZW-7000可實現短20μs的高速采樣，即使無平均化處理，也可忠實測量形狀。
*1. 使用傳感頭ZW-S7010/ZW-S5010時的代表值。
*2. 有切削痕跡、測量線等的工件。
在制造現場，為了提高生產效率，機器人和工作臺在組裝和檢查中得到廣泛應用。
隨著制造裝置本身不斷小型化，需要簡化測量設備中的裝置組裝和操作。
ZW-7000/5000系列的傳感頭利用了白光共焦方式的優點，超小型、輕量化，可輕松安裝到有空間限制的裝置和移動部，有助于加快生產節拍。
縮短時間：多臺傳感器同時測量
憑以往的激光位移傳感器的尺寸，在空間受限的情況下難以進行多臺傳感器并行測量。ZW-7000/5000系列可并行安裝超小型傳感頭，從而縮短時間。
縮短時間：縮短振動停止的等待時間
例如，在使用電動汽缸時，僅在需要時將傳感頭移至測量部位的情況下，由于超小型、輕量化的傳感頭在汽缸停止后的振動較少，因此可縮短振動停止的等待時間，實現快速測量。
省略工序：無需傳感頭的旋轉工序
以往的激光位移傳感器在光反射到受光元件上的位置測量工件高度，因此需要根據測量對象物體的形狀和移動方向執行傳感頭的旋轉工序，造成了花費多余時間的問題。白光共焦位移傳感器無方向限制，在相同安裝條件下，可在所有方向進行移動測量。
可動部位也可放心使用，耐彎曲光纖電纜
控制器與傳感頭通過直徑3mm的耐彎曲光纖電纜連接。通過300萬次的彎曲測試*，盡可放心地應用于可動部位。
* 本公司規定的評估條件“彎曲半徑(20mm)×300萬次”
增加延長用光纖電纜
測定點無偏差
以往的激光位移傳感器的測量點和光點尺寸會隨高度而變，因此受到撓度及傾斜的影響，可能會無法準確測量目標位置。ZW-7000/5000系列白光共焦位移傳感器在測量范圍內的任意位置均能通過同一個測量點進行準確測量。
可實現狹窄空間和墻邊的測量
以往的激光位移傳感器在測量細小管道的深處及微小凹陷部的高度時，反射光會被壁面遮擋，需要每次調整傳感器和工件的方向。ZW-7000/5000系列白光共焦位移傳感器的照射光與反射光相對于工件同軸，因此與安裝方向無關，可對狹窄空間及微小的工件進行測量。
ZW-7000
| 形狀 | 測量范圍 | 光點 直徑 | 靜止 分辨率 * | 電纜 長度 | 型號 |
|---|---|---|---|---|---|
 |  | φ50μm | 0.004μm | 2m | ZW-S7010 2M |
| 0.3m | ZW-S7010 0.3M | ||||
 | φ70μm | 0.008μm | 2m | ZW-S7020 2M | |
| 0.3m | ZW-S7020 0.3M | ||||
 | φ100μm | 0.016μm | 2m | ZW-S7030 2M | |
| 0.3m | ZW-S7030 0.3M |
| 形狀 | 名稱 | 電纜長度 | 型號 |
|---|---|---|---|
 | 傳感頭與控制器之間延長用光纖電纜 (連接適配器 ZW-XFCM附帶) | 2m | ZW-XF7002R |
| 5m | ZW-XF7005R | ||
| 10m | ZW-XF7010R | ||
| 20m | ZW-XF7020R | ||
| 30m | ZW-XF7030R | ||
 | 連接適配器 (傳感頭引出電纜與延長用光纖電纜之間 延長用光纖電纜ZW-XF70□□R隨附) | - | ZW-XFCM |
ZW-5000
| 形狀 | 測量范圍 | 光點 直徑 | 靜止 分辨率 ＊ | 電纜 長度 | 型號 |
|---|---|---|---|---|---|
 |  | φ9μm | 0.004μm | 2m | ZW-S5010 2M |
| 0.3m | ZW-S5010 0.3M | ||||
 | φ13μm | 0.008μm | 2m | ZW-S5020 2M | |
| 0.3m | ZW-S5020 0.3M | ||||
 | φ18μm | 0.016μm | 2m | ZW-S5030 2M | |
| 0.3m | ZW-S5030 0.3M |
| 形狀 | 名稱 | 電纜長度 | 型號 |
|---|---|---|---|
 | 傳感頭與控制器之間延長用光纖電纜 連接適配器 ZW-XFC2附帶) | 2m | ZW-XF5002R |
| 5m | ZW-XF5005R | ||
| 10m | ZW-XF5010R | ||
| 20m | ZW-XF5020R | ||
| 30m | ZW-XF5030R | ||
 | 連接適配器 (隨附于延長用光纖電纜 ZW-XF50□□R) | - | ZW-XFC2 |
ZW-7000/5000通用
| 形狀 | 名稱 | 電纜長度 | 型號 |
|---|---|---|---|
 | 并行電纜 (ZW-7000□/5000□用32極) (控制器 ZW-7000□/5000□隨附) | 2m | ZW-XCP2E |
 | RS-232C電纜 PC連接用 | 2m | ZW-XRS2 |
 | RS-232C電纜 PLC/可編程終端連接用 | 2m | ZW-XPT2 |
| 名稱 | 形狀 | 廠家 | 電纜 長度(m) *1 | 型號 |
|---|---|---|---|---|
| 小型 兩側帶接插件電纜 (RJ45/RJ45) 尺寸、線芯數(對數)： AWG26×4P 電纜護套材質： LSZH *2 電纜顏色： 黃色 *3 |  | 歐姆龍 株式會社 | 0.3 | XS6W-6LSZH8SS30CM-Y |
| 0.5 | XS6W-6LSZH8SS50CM-Y | |||
| 1 | XS6W-6LSZH8SS100CM-Y | |||
| 2 | XS6W-6LSZH8SS200CM-Y | |||
| 3 | XS6W-6LSZH8SS300CM-Y | |||
| 5 | XS6W-6LSZH8SS500CM-Y | |||
| 堅固型 兩側帶接插件電纜 (RJ45/RJ45) 尺寸、線芯數(對數)： AWG22×2P |  | 歐姆龍 株式會社 | 0.3 | XS5W-T421-AMD-K |
| 0.5 | XS5W-T421-BMD-K | |||
| 1 | XS5W-T421-CMD-K | |||
| 2 | XS5W-T421-DMD-K | |||
| 5 | XS5W-T421-GMD-K | |||
| 10 | XS5W-T421-JMD-K | |||
| 堅固型 兩側帶接插件電纜 (M12/RJ45) 尺寸、線芯數(對數)： AWG22×2P |  | 歐姆龍 株式會社 | 0.3 | XS5W-T421-AMC-K |
| 0.5 | XS5W-T421-BMC-K | |||
| 1 | XS5W-T421-CMC-K | |||
| 2 | XS5W-T421-DMC-K | |||
| 5 | XS5W-T421-GMC-K | |||
| 10 | XS5W-T421-JMC-K | |||
| 堅固型 兩側帶接插件電纜 (M12 L型/RJ45) 尺寸、線芯數(對數)： AWG22×2P |  | 歐姆龍 株式會社 | 0.3 | XS5W-T422-AMC-K |
| 0.5 | XS5W-T422-BMC-K | |||
| 1 | XS5W-T422-CMC-K | |||
| 2 | XS5W-T422-DMC-K | |||
| 5 | XS5W-T422-GMC-K | |||
| 10 | XS5W-T422-JMC-K |
尺寸、線芯數(對數)：AWG24×4P
| 名稱 | 形狀 | 廠家 | 型號 |
|---|---|---|---|
| 電纜 | - | 日立電線株式會社 | NETSTAR-C5E SAB 0.5 × 4P CP * |
| - | 倉茂電工株式會社 | KETH-SB * | |
| - | 昭和電線電纜系統株式會社 | FAE-5004 * | |
| - | JMACS株式會社 | IETP-SB * | |
| RJ45連接器 | - | 泛達公司 | MPS588-C * |
尺寸、線芯數(對數)：AWG22×2P
| 名稱 | 形狀 | 廠家 | 型號 |
|---|---|---|---|
| 電纜 | - | 倉茂電工株式會社 | KETH-PSB-OMR * |
| - | JMACS株式會社 | PNET/B * | |
| - | 昭和電線電纜系統株式會社 | FAE-5002 * | |
| RJ45組裝式連接器 |  | 歐姆龍株式會社 | XS6G-T421-1 * |
| 項目 | 型號 | ZW-S7010 | ZW-S7020 | ZW-S7030 | ZW-S5010 | ZW-S5020 | ZW-S5030 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 適用傳感器控制器 | ZW-7000□ | ZW-5000□ | |||||
| 測定中心距離 | 10mm | 20mm | 30mm | 10mm | 20mm | 30mm | |
| 測量范圍 | ±0.5mm *1 | ±1mm *1 | ±2mm *1 | ±0.5mm | ±1mm | ±2mm | |
| 靜止分辨率 *2 | 0.004μm | 0.008μm | 0.016μm | 0.004μm | 0.008μm | 0.016μm | |
| 線性度 *3 | ±0.45μm | ±0.9μm | ±2.0μm | ±0.45μm | ±0.9μm | ±2.0μm | |
| 光點直徑 (測量范圍內整區) *4 | φ50μm | φ70μm | φ100μm | φ9μm | φ13μm | φ18μm | |
| 測量周期 *5 | 20μs～400μs | 80μs～1600μs | |||||
| 使用環境照度 | 物體表面照度30000Lx以下：白熾燈 | ||||||
| 環境溫度范圍 | 工作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃ (不結冰、不凝露) | ||||||
| 環境濕度范圍 | 工作時/保存時：35～85%(不凝露) | ||||||
| 保護構造 | IP40(IEC60529) | ||||||
| 振動(耐久) | 10～150Hz(單振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 80分鐘 | ||||||
| 沖擊(耐久) | 150m/s2、6個方向、各3次(上下、左右、前后) | ||||||
| 溫度特性 *6 | 0.6μm/℃ | 1.1μm/℃ | 1.8μm/℃ | 0.6μm/℃ | 1.1μm/℃ | 1.8μm/℃ | |
| LED的安全性 | 風險組3(IEC62471) | ||||||
| 材質 | 箱體：鋁壓鑄 光纜包層部：PVC 校準ROM：PC | ||||||
| 光纜長度 | 0.3m、2m(耐彎曲電纜) | ||||||
| 光纜小彎曲半徑 | 20mm | ||||||
| 絕緣電阻(校準ROM) | 外殼與所有端子間：20MΩ(250V兆歐表) | ||||||
| 耐壓(校準ROM) | 外殼與所有端子間：AC1000V、50/60Hz、1分鐘 | ||||||
| 重量 | 光纜長度0.3m 約170g 光纜長度2m 約180g | ||||||
| 附件 | 校準ROM固定用螺釘(M2)、 吊帶(2個)、 使用說明書、 使用注意事項 | 校準ROM固定用螺釘(M2)、 吊帶(1個)、 使用說明書、 使用注意事項 | |||||
*1.測量范圍在測量周期為28μs以上時
*2.在測量中心距離對本公司標準鏡面對象物體進行平均次數16384次測量時的實效值 與出口貿易管理法規對應控制器(ZW-7000T/5000T)連接時，無論傳感頭和設定條件如何，小分辨率都為0.25μm。 *3.設定本公司標準對象物體的材質：相對于鏡面測量時的理想直線的誤差
*4.以測量波長的峰值光強度的1/e2(13.5%)定義的實效值
*5.連接了5m以上的延長用光纖電纜時，測量周期(曝光時間)的設定范圍會發生變化。
*6. 用鋁夾具固定傳感頭和對象物體之間，在相同溫度環境下設置傳感頭和控制器時的測量中心距離的測量值變化量
控制器
| 項目 | 型號 | ZW-7000□ | ZW-5000□ | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 輸入輸出類型 | NPN/PNP通用 | |||||
| 傳感頭連接臺數 | 1臺 | |||||
| 適用傳感頭 | ZW-S70□□ | ZW-S50□□ | ||||
| 測量用光源 | 白色LED | |||||
| LED的安全性 | 風險組3(IEC62471) | |||||
| 段顯示 | 主數字顯示 | 11段白色顯示、6位 | ||||
| 輔數字顯示 | 11段綠色顯示、6位 | |||||
| LED 顯示 | 狀態指示燈 | HIGH(橙色)、PASS(綠色)、LOW(橙色)、 STABILITY(綠色)、ZERO(綠色)、 ENABLE(綠色)、THRESHOLD-H(橙色)、 THRESHOLD-L(橙色)、RUN(綠色) | ||||
| EtherCAT指示燈 | ECAT RUN(綠色)、L/A IN(Link/Activity IN)(綠色)、 L/A OUT(Link/Activity OUT)(綠色)、ECAT ERR(紅色) | |||||
| 外部 接口 | Ethernet | 100BASE-TX/10BASE-T 無協議(TCP/UDP)、EtherNet/IP | ||||
| EtherCAT | EtherCAT協議100BASE-TX | |||||
| RS-232C | 大115,200bps | |||||
| 模擬 輸出端子臺 | 模擬量電壓輸出(OUTV) | -10V～+10V、輸出阻抗：100Ω | ||||
| 模擬量電流輸出(OUTA) | 4mA～20mA、大負載電阻：300Ω | |||||
| 32極 擴展連接器 | 判定輸出 (HIGH/PASS/LOW) | 晶體管輸出方式 輸出電壓：DC21.6～30V 負載電流：50mA以下 ON時剩余電壓：2V以下 OFF時漏電流：0.1mA以下 | ||||
| BUSY輸出(BUSY) | ||||||
| 報警輸出(ALARM) | ||||||
| 啟用輸出(ENABLE) | ||||||
| 漏型標志輸出(SYNFLG) | ||||||
| 觸發BUSY輸出 (TRIGBUSY) | ||||||
| 記錄狀態輸出 (LOGSTAT) | ||||||
| 記錄錯誤輸出(LOGERR) | ||||||
| 穩定性輸出(STABILITY) | ||||||
| 任務狀態輸出 (TASKSTAT) | ||||||
| LIGHT OFF輸入 (LIGHT OFF) | DC輸入方式 輸入電壓：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 輸入電流：7mA Typ.(DC24V) ON電壓/ON電流：19V/3mA以上 OFF電壓/OFF電流：5V/1mA以下 | |||||
| 歸零輸入(ZERO) | ||||||
| 時間輸入(TIMING) | ||||||
| 復位輸入(RESET) | ||||||
| 漏型輸入(SYNC) | ||||||
| 觸發輸入(TRIG) | ||||||
| 記錄輸入(LOGGING) | ||||||
| BANK | 選擇時 BANK輸出 (BANK_OUT1～3) | 晶體管輸出方式 輸出電壓：DC21.6～30V 負載電流：50mA以下 ON時剩余電壓：2V以下 OFF時漏電流：0.1mA以下 | ||||
| BANK 選擇輸入 (BANK_SEL1～3) | DC輸入方式 輸入電壓：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 輸入電流：7mA Typ.(DC24V) ON電壓/ON電流：19V/3mA以上 OFF電壓/OFF電流：5V/1mA以下 | |||||
| 主要 功能 | 曝光時間 | 自動/固定 | ||||
| 測量周期 *1 | 20μs～400μs | 80μs～1600μs | ||||
| 材質 | 標準/鏡面/粗糙面 | |||||
| 測量項目 | 高度/厚度/運算 | |||||
| 濾波器處理 | 中值/平均/微分/高通/低通/帶通 | |||||
| 輸出 | 縮放/各種保持/歸零/測量值記錄 | |||||
| 顯示 | 測量值/閾值/模擬量輸出電壓值或電流值/ 判定結果/分辨率/曝光時間/內部記錄狀態/峰值受光量 | |||||
| 設定登錄數 | 多8個BANK | |||||
| 任務處理 | 多任務(1個BANK多4個任務) | |||||
| 系統 | 保存/初始化/測量信息顯示/通信設定/ 傳感頭校正/鍵鎖定/歸零存儲/時間輸入 | |||||
| 額定值 | 電源電壓 | DC21.6V～26.4V(含波動) | ||||
| 消耗電流 | 800mA以下 | |||||
| 絕緣電阻 | 所有導線和FG端子間：20MΩ(250V兆歐表) | |||||
| 耐壓 | 所有導線和FG端子間：AC500V、50/60Hz、1分鐘 | |||||
| 耐環境性 | 保護構造 | IP20(IEC60529) | ||||
| 振動(耐久) | 10～55Hz(單振幅0.35mm)、X/Y/Z各方向 50分鐘 | |||||
| 沖擊(耐久) | 150m/s2、6個方向、各3次(上下、左右、前后) | |||||
| 環境溫度范圍 | 工作時：0～+40℃、保存時：-15～+60℃ (不結冰、不凝露) | |||||
| 環境濕度范圍 | 工作時/保存時：35～85%(不凝露) | |||||
| 接地 | D型接地(接地電阻100Ω以下) *以往的第三種接地 | |||||
| 材質 | 箱體：PC | |||||
| 重量 | 約900g(僅本體)、約150g(并行電纜) | |||||
| 附件 | 并行電纜(ZW-XCP2E) 光纖清潔劑10支(ZW-XCL) 使用說明書 會員注冊表 | 并行電纜(ZW-XCP2E) 光纖清潔劑10支(ZW-XCL) 光纖適配器蓋 吊帶(1個) 使用說明書/會員注冊表 | ||||
ZW-7000□
ZW-5000□
具體內容詳見：歐姆龍OMRON光纖同軸位移傳感器ZW-7000 / 5000系列
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