旋片式真空泵的工作原理說明 | 旋片泵工作原理圖 1-泵體;2-旋片;3-轉子; ![]() | |||
![]() | 雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成,兩室前后串聯,同向等速旋轉,Ⅰ室是低真空級,Ⅱ室是高真空級,被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室,當進入的氣體壓力較高時,氣體經Ⅱ室壓縮,壓強急速增大,被壓縮的氣體不僅從排氣閥排出,而且經過中壁通道,進入Ⅰ室,在Ⅰ室被壓縮,從低級排氣閥排出;當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時,雖經Ⅱ室的壓縮,也推不開排氣閥排出,氣體全部經中壁通道進入Ⅰ室,經Ⅰ室的繼續壓縮,由低級排氣閥排出,因此雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。 | |||
雙級旋片式真空泵工作原理圖 1-排氣閥;2-通道;3-低級排氣閥 |
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