光譜學(xué)是測(cè)量紫外、可見(jiàn)、近紅外和紅外波段光強(qiáng)度的技術(shù)。光譜測(cè)量被廣泛應(yīng)用于多種領(lǐng)域,如顏色測(cè)量、化學(xué)成份的濃度測(cè)量或輻射度學(xué)分析、膜厚測(cè)量、氣體成分分析等領(lǐng)域。
光纖光譜儀的出現(xiàn)源于20世紀(jì)90年代微電子領(lǐng)域中多象元光學(xué)探測(cè)器(例如CCD,光電 二極管 陣列)制造技術(shù)迅猛發(fā)展,通常采用光纖作為信號(hào)耦合器件,將被測(cè)光耦合到光譜儀中進(jìn)行光譜分析。由于光纖的方便性,用戶可以非常靈活的搭建光譜采集系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)測(cè)量系統(tǒng)的模塊化和靈活性。
選擇光譜儀的時(shí)候需要考慮的三大要素:
1.波長(zhǎng)范圍
波長(zhǎng)范圍是選擇光譜儀的首要指標(biāo)。它主要由光柵、探測(cè)器決定。波長(zhǎng)范圍取決于光柵的起始波長(zhǎng)和光柵線對(duì)數(shù)。波長(zhǎng)越長(zhǎng)則色散效應(yīng)越大,光柵覆蓋的波長(zhǎng)范圍就越小。光柵線數(shù)越多,色散效果越好,光柵覆蓋的波長(zhǎng)范圍越小。
2.光學(xué)分辨率
光譜儀的光學(xué)分辨率是光譜儀所能分辨開(kāi)的zui小波長(zhǎng)差。它主要取決于光柵線數(shù)和入射狹縫寬度。光柵決定了不同波長(zhǎng)在探測(cè)器上的色散程度。光柵線數(shù)越大色散程度越開(kāi),光學(xué)分辨率就越高。入射狹縫寬度決定狹縫在探測(cè)器陣列上所成像覆蓋的像元數(shù)。狹縫越寬,光學(xué)分辨率越小。
3.靈敏度
靈敏度主要入射狹縫、探測(cè)器有關(guān)。對(duì)于高靈敏度需要的應(yīng)用可以選擇100μm或者200μm的狹縫來(lái)增加入射光信號(hào);可以選信噪比較高的2048像素高靈敏度CMOS探測(cè)器,也可以選擇制冷型背照式CCD探測(cè)器,通過(guò)增加積分來(lái)提高信號(hào)強(qiáng)度。
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