擴(kuò)散硅壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn):
1、信號輸出大:擴(kuò)散硅壓力傳感器的輸出大是它很了不起的一個(gè)優(yōu)點(diǎn),因?yàn)檩敵龃鬄楹蠖说淖兯驼{(diào)理線路提供了很大的優(yōu)勢條件,分辨率高,靈敏度高。
2、可進(jìn)行二次補(bǔ)償:擴(kuò)散硅壓力傳感器的靈敏度溫度系數(shù)和零點(diǎn)溫度系數(shù)能夠進(jìn)行補(bǔ)償,即使成品芯體也可進(jìn)行二次補(bǔ)償,所以傳感器的優(yōu)點(diǎn)容易發(fā)揮到*。
3、價(jià)格相對便宜,性價(jià)比高,這也是擴(kuò)散硅壓力傳感器在我們國家能夠廣泛應(yīng)用的一個(gè)原因。實(shí)際上,如果性能能夠達(dá)到要求的話,選用國產(chǎn)擴(kuò)散硅壓力傳感器不失為一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的作法。另外我們也要為支持我們的民族產(chǎn)業(yè)作一點(diǎn)貢獻(xiàn)吧。
4、體積小巧,利于安裝。下圖為一種典型的擴(kuò)散硅壓力傳感器制造的壓力變送器實(shí)物圖。
擴(kuò)散硅壓力傳感器的缺點(diǎn):
1、耐高溫能力有限。擴(kuò)散硅壓力傳感器的基礎(chǔ)材料"硅"決定了傳感器的耐溫是有限的。通常情況下-10-60度可以保證精度。溫系的補(bǔ)償也只能在這個(gè)范圍內(nèi)進(jìn)行。
2、相對于濺射膜壓力傳感器和電容式壓力變送器抗惡劣環(huán)境能力有限,這也是一些工業(yè)現(xiàn)場放棄擴(kuò)散硅壓力傳感器的一個(gè)重要原因。
3、與濺射膜壓力傳感器相比,擴(kuò)散硅壓力傳感器不合適大量程壓力程測量,擴(kuò)散硅壓力傳感器zui大壓力一般能做到35MPa,也有廠家號稱可以做到60MPa,擴(kuò)散硅壓力傳感器不適合大壓力的液壓測量場合,濺射膜壓力傳感器zui大壓力可大220MPa。
4、擴(kuò)散硅壓力傳感器不合適流體中含有固體顆粒的介質(zhì)壓力測量,擴(kuò)散硅壓力傳感器由于采用波紋膜片作為介質(zhì)隔離,波紋膜片比較脆弱,介質(zhì)中含有固體顆粒非常容易損壞膜片,因此對介質(zhì)要求比較嚴(yán)格。
5、容易泄漏測量介質(zhì),擴(kuò)散硅壓力傳感器的結(jié)構(gòu)上的弱點(diǎn)使它在高過載的情況下容易造成測量介質(zhì)的泄漏。硅材料在過壓的情況下會發(fā)生斷裂。(俗稱:"沖片")而濺射膜不會這樣。過載后自行恢復(fù),zui壞的情況是影響測量精度。
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