隨著電氣電子設備的小型化和多功能化,儀器的零部件也不斷微型化,因此超小型高性能的半導體零部件和傳感器等光學元件被廣泛應用。在微型化設備和零部件中,微米級的微小異物可能會導致儀器發生運行故障。因此為了防止此類問題的發生,查明異物來源極其重要。
島津公司的異物自動分析系統(紅外顯微鏡)AIM-9000 采用將微小部分作為測定目標的光學設計,可以在短時間內獲得微米級異物的清晰光譜。本文向您介紹使用本系統對光學元件表面附著的約10μm微小異物進行測定的示例。
島津異物自動分析系統(IRTracer-100 和紅外顯微鏡AIM-9000)
了解詳情,敬請點擊《光學元件上微小異物的測定–采用紅外顯微鏡AIM-9000 進行掃描和識別》
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