• 1、高電離的氣體。(電離度大于0.1%)
• 2、電中性(正負電荷相等)
什么是ICP(電感耦合等離子體)?
•何為ICP:
•1、高溫常壓氣體;(穩定達到10000K)
•2、RF發生器使電感線圈發生高頻震蕩磁場;
•3、高頻磁場把能量耦合到氬氣中,使Ar電離;
•4、呈電中性,Ar離子與電子數目相同;
•5、有大量亞穩態Ar原子;
•組成:RF發生器、匹配系統(如果需要)、工作線圈、矩管
•主要參數:頻率、功率范圍與利用率、功率與頻率穩定性。
•RF發生器類型:自激與它激、水冷與風冷、電子管與晶體管。
•RF觀測方式:水平、垂直。
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