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MEMS-MOS氣體傳感器的簡介

一、基本原理

MEMS-MOS氣體傳感器主要利用金屬氧化物半導體材料對特定氣體的敏感特性來檢測氣體。這些傳感器通常以單晶硅材料為基底，金屬氧化物組分為氣體敏感材料。當氣敏材料暴露于被測氣體中時，氣體會與材料發生反應，引起電導率或電阻率的變化，從而產生包含氣體成分和濃度的電信號。經過信號處理電路處理后，即可識別氣體的成分和濃度。

二、技術特點

1、微型化：MEMS器件體積小，一般單個MEMS傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計量單位，重量輕、耗能低。同時微型化以后的機械部件具有慣性小、諧振頻率高、響應時間短等優點。MEMS更高的表面體積比可以提高表面傳感器的敏感程度。

2、低功耗：由于MEMS加工工藝的優勢，傳感器加熱區域可以控制在100~300微米直徑范圍內，通過懸臂梁設計可以大大降低傳感器功耗，一般MEMS氣體傳感器功耗是傳統半導體MOS傳感器的6%~10%，非常適合物聯網對功耗的要求。

3、集成化：采用硅基加工工藝，可集成ASIC芯片，控制MEMS芯片以及轉換模擬量為數字量輸出。生產成本相對傳統MOS傳感器成本低。同時不同的封裝工藝可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統。

4、低成本：以單個1mm×1mm尺寸的MEMS傳感器芯片為例，用MEMS工藝在一片6英寸的硅片上可同時切割出大約13000個MEMS芯片，批量生產可大大降低單個MEMS的生產成本。

5、智能化：一般來說，可以把多個MEMS氣體傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的傳感器陣列芯片，如同人的嗅覺細胞，通過算法實現人工嗅覺功能。

三、應用場景

1、工業領域：用于檢測工業生產過程中的有害氣體泄漏，如氫氣、一氧化碳等，保障生產安全。還可用于監測工業廢氣排放，確保符合環保標準。

2、環境監測：在城市環境中監測空氣中的污染物濃度，如二氧化硫、氮氧化物等，為環境治理提供數據支持。

3、醫療健康：應用于醫療設備中，如呼吸機、麻醉機等，用于監測患者呼吸氣體中的氧氣、二氧化碳等成分濃度，輔助醫療診斷。還可用于早期疾病篩查，如通過檢測人體呼出氣體中的特定成分來輔助診斷某些疾病。

4、智能家居與家電：集成到智能家居系統中，實時監測室內空氣質量，自動控制通風設備、空氣凈化器等，為人們創造舒適的居住環境。例如，當檢測到室內二氧化碳濃度過高時，自動開啟換氣功能。

5、汽車領域：用于車內空氣質量監測，檢測車內的一氧化碳、揮發性有機化合物等有害氣體，保障駕乘人員的健康。還可用于電動汽車電池熱失控前的氫氣、一氧化碳預警，提高車輛的安全性。