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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質，依靠機械結構實現抽真空的一類真空獲得設備。
產品介紹
KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵 MU300XE
KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵 MU300XE
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質，依靠機械結構實現抽真空的一類真空獲得設備。這類泵通過精密配合的機械部件直接壓縮和排出氣體，解決了傳統油封式或液環式真空泵存在的介質污染問題。干式真空泵的發展始于20世紀80年代，隨著半導體、光伏等潔凈工業的需求而快速進步，現已成為高科技制造領域不可替代的關鍵設備。
干式真空泵的顯著特點
無油設計：
泵腔內無任何潤滑介質
抽氣過程100%無油蒸汽反流
達到ISO 8573-1 Class 0無油標準
精密機械結構：
采用多級壓縮設計（通常3-7級）
轉子與腔體間隙控制在微米級
特殊表面處理工藝降低摩擦
介質適應性：
可處理腐蝕性氣體（需特殊材質）
耐受粉塵和顆粒物（配置過濾器時）
能抽除可凝性蒸汽
智能控制系統：
集成溫度、振動等多參數監測
具備自動過載保護功能
支持遠程監控和故障診斷
寬泛的工作范圍：
極限真空可達0.01Pa（渦輪分子泵組合時）
流量范圍從1m3/h到1000m3/h
適應連續或間歇運行模式
| 規格/型號 | MU100XE | MU180X | MU300XE | MU600XE | MU1200XE |
| 最大抽速 [L/min] *1 *5 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 |
| 極限壓力 [Pa] *1 | 1.5 | 0.5 | |||
| 電源電壓 （50/60Hz） | 三相 AC200~220V *2 | ||||
| 功耗 [kW] *3 | 0.25 | 0.5 | 0.45 | 0.5 | 0.6 |
| 外形尺寸 [mm] 長×寬×高 *4 | 450×230×275 | 550×280×299 | 450×230×520 | 530×230×520 | 625×275×580 |
| 重量 [kg] | 60 | 95 | 100 | 120 | 165 |
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