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RK1500KOFLOC科賦樂 浮子流量計(jì)
參考價(jià): 2000
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • RK1500 產(chǎn)品型號(hào)
  • KOFLOC/科賦樂 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):64更新時(shí)間:2025-05-22 10:02:30

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www.cosimoinc.cn
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 其他
價(jià)格區(qū)間 1-5千 介質(zhì)分類 氣體&液體
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
KOFLOC科賦樂 浮子流量計(jì)
低泄漏流量測量控制用,該裝置是配有波紋管密封針閥的流量計(jì),設(shè)計(jì)用于承受高真空,高壓,高溫,有毒氣體等的使用。
產(chǎn)品介紹

KOFLOC科賦樂 浮子流量計(jì)


KOFLOC科賦樂 浮子流量計(jì)

所有產(chǎn)品均使用氦氣檢漏儀進(jìn)行泄漏檢測,因此具有高度可靠的泄漏檢測能力。

因?yàn)槭遣y管密封型裝置,不存在針閥軸泄漏的可能性。

流體接觸部分的材料只使用SUS316、氟樹脂、氟橡膠和硬質(zhì)玻璃,因此具有優(yōu)異的耐腐蝕性

具有高精度再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的流量計(jì),由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋導(dǎo)向流量計(jì)管和超精密球組成,裝設(shè)有流暢流量特性的精密針閥。


用途

用于真空設(shè)備

用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線


技術(shù)優(yōu)勢

熱式技術(shù)(氣體):

基于熱擴(kuò)散原理,直接測量氣體質(zhì)量流量(無需溫壓補(bǔ)償)。

低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導(dǎo)體工藝氣體控制)。

壓差式技術(shù)(液體):

通過層流元件產(chǎn)生壓差,線性輸出流量信號(hào)。

耐腐蝕設(shè)計(jì):接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。

智能功能:

數(shù)字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。

自診斷報(bào)警(流量超限、傳感器異常)。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造

案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。

要求:流量穩(wěn)定性±0.5%,響應(yīng)時(shí)間<1秒。

配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認(rèn)證(Ex d IIC T6)。

光伏產(chǎn)業(yè)

案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。

挑戰(zhàn):硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

方案:全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。

化工流程

案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。

材質(zhì)選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

氣體流體

流體名稱Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(實(shí)際氣體校準(zhǔn))
其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn),實(shí)際氣體校準(zhǔn)請另行咨詢
※選項(xiàng):2種流體刻度
標(biāo)準(zhǔn)流體(H2O)
其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn)
(但是,會(huì)產(chǎn)生與實(shí)際液體的誤差。)
流量范圍0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN(參考容量列表)
※選項(xiàng):0.5~3ML / MIN
0.5~5ML / MIN至0.1~1L / MIN(參考容量列表)
※選項(xiàng):0.5~3ML / MIN
精度FS±2%(計(jì)量點(diǎn))※選項(xiàng):FS±1%(計(jì)量點(diǎn))FS±2%(計(jì)量點(diǎn))
耐壓100ML / MIN以下:1.0MPa
5L / MIN以下:0.7MPa
10L / MIN以上:0.5MPa
5ML / MIN以下:1.0MPa
150ML / MIN以下:0.7MPa
200ML / MIN以上:0.5MPa
有效刻度10:1 ※選項(xiàng)20:1

 


材質(zhì)SS制
主體區(qū)塊SUS316
錐形管硬玻璃
密封材料氟橡膠
浮標(biāo)硬質(zhì)玻璃,SUS316
保護(hù)罩丙烯
最高使用溫度60℃
連接端口1 / 4F 900(標(biāo)準(zhǔn)),1/8 F 900(可選),1/4 UJR(選項(xiàng))* O形密封圈的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格(可選配焊接密封)




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