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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
HFC-303是一種質量流量控制器，通過結合電磁式先導閥和為大流量控制開發的氣動流量控制閥，可實現大流量的高精度氣體控制，這在過去很難實現。
作為HFC-203系列的后續產品，HFC-203系列已廣泛應用于工業領域，是一種新型號，可實現更高的精度和高速響應。
采用兩級控制閥，支持高達1000 SLM的高流量
即使流量大，也能實現±1.0％的高精度
確保傳統型號的高速響應性能
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 100?300 SLM（可選） | 301?1000 SLM（可選 | |
|---|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時關閉） | ||
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 準確性 | ±1％F.S.（25°C） | ||
| 溫度系數 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | 0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現性 | ±0.25%F.S. | ||
| 壓差 | 個人反應 | ||
| 耐壓 | 3.4MPa（G）（HP選項6.8MPa（G）） | ||
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-7 Pa.m3/s以下 | ||
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） | ||
| 氣體接觸材料 | 主體SUS316，Ni，SUS302 | ||
| 隔膜FKM | |||
| 閥座FKM | |||
| 密封材料FKM（選件CR，Kallets） | |||
| 電氣連接 | Dsub 15針 | ||
| 流量設定 輸入信號 | 0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | ||
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）150 mA， -15 VDC（±5％）300 mA | ||
| 配件（車身尺寸） | 標準1/2 SWL（3 / 4.16 UNF） | 標準3/4 SWL（1.1 / 16.12 UNF） | |
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