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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
支持15～24VDC寬頻電源
模擬輸出/輸入0-5VDC/4-20mA可選
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳感器 | 熱式繞組傳感器 | |
|---|---|---|
| 閥門 | 電磁比例閥（斷電時 關閉） | |
| 對象氣體 | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | |
| 流量范圍（N2換算） | 10SCCM～20SLM | |
| 控制范圍 | 2～100%F.S. | |
| 響應性 | 2sec以內（within±2%F.S.） | |
| 精度 | ±1%F.S.（25℃） | |
| 溫度系數 | ±0.1%F.S./℃（15～35℃） | |
| 重現性 | ±0.5%F.S. | |
| 動作壓差 | F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa | |
| 入口最大圧?耐圧 | 500kPa(G) | |
| 耐圧 | 1MPa(G) | |
| He泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/sec以下 | |
| 允許環境溫度 | 5～45℃ | |
| 允許保存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許周圍濕度 | 10～90%RH（未出現冷凝） | |
| 與氣體接觸的材質 | SUS316L,SUS316,磁性不銹鋼,FKM(可選:NBR,CR) | |
| 電気接続 | D-sub9九針 KFC standard（依據SEMI standard） | |
| 模擬流量設定信號 | 0～5VDC（輸入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（輸入Z,250Ω） | |
| 模擬流量輸出信號 | 0～5VDC（負載電阻250kΩ以上）or 4～20mA（負載電阻300Ω以下） | |
| 電源 | +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA or 24VDC（±10%）450mA | |
| 外部尺寸 | 寬32mm × 高100mm(包含連接部）× 平面76mm(不包含接頭) | |
| 接頭（本體口徑） | 標準：1/4SWL、可選：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF） | |
| 重量 | 約1,000g | |
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