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- 中國四川省成都市郫都區創智東二路58號綠地銀座A座1118
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- www.fujita-cd.cn
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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
產品信息 特殊長度 可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學常數。 除了支持包括下一代尺寸在內的大型玻璃基板外，它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。 用法 LCD ITO...
產品介紹
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統-成都藤田科技提供
產品信息
特殊長度
可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學常數。除了支持包括下一代尺寸在內的大型玻璃基板外，它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。
用法
LCD
ITO / Glass, PI / OC / Glass, CF / Glass, Resist / Glass
TFT
SiN / a-Si / 玻璃
有機EL
有機EL / ITO / 玻璃
PDP
介電層/玻璃
核心特點：
超大基板全覆蓋：專為下一代尺寸玻璃基板設計（支持超長/超寬規格），可高效測量LCD、TFT、有機EL等大型面板，兼容PI、ITO、SiN、介電層等復雜膜層結構。
納米級精度與秒級速度：采用分光干涉+AI算法技術，單點測量時間＜1秒，膜厚精度±0.1nm，光學常數（n/k）解析＜0.5%，滿足量產級質量控制需求。
全場景適配性：從研發實驗室到自動化產線，支持在線（inline）集成，可定制XYZ多軸平臺，實現基板全域厚度分布映射與缺陷快速篩查。
高速量產優化：每小時可檢測超3000點，支持多探頭并行測量，大幅提升玻璃基板（如G8/G10）產線效率，降低設備綜合成本（CoO）。
超薄與超厚膜通吃：量程覆蓋1nm至200μm，適用于OC（光學膠）、Resist（光刻膠）等軟膜與硬質涂層的精準厚度控制。
低維護：非接觸式測量設計，無探針損耗，長期使用穩定性達99.8%，搭配遠程診斷功能，減少停機風險。
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統-成都藤田科技提供
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