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產品介紹
HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優選
HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優選
排氣壓力控制器
EC-5000 系列排氣壓力控制器可以在腔室內保持一致的壓力，由用戶選擇。高分辨率步進電機和的蝶閥確保對任何壓力變化做出快速、靈敏的響應。
好處：
適用于高真空：不銹鋼機身
耐腐蝕：還提供帶 PTFE 主體的型號
符合 RoHS 標準。
當排氣流量調整到優良水平時：
光刻膠分布在均勻的薄膜中
防止油霧的二次沉積
防止危險蒸氣的擴散。
與流量傳感器控制相比，由于光刻膠和其他污染的積累引起的靈敏度變化較小，并且消除了湍流和其他噪聲的影響，從而實現了穩定、響應性的控制。
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