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MFC330-質(zhì)量流量控制器
  • MFC330-質(zhì)量流量控制器
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)

更新時間:2025-02-18 09:26:05

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質(zhì)量流量控制器 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

質(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類   98+氣體可選

量程   0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍    0.5%F.S.(1:200)

控制范圍   1%-100% FS.(1:100)

準確度   ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時間<3 秒

預(yù)熱時間   5 min(T95),30 分鐘最佳

閥門 常閉式



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