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蘇州愛拓利電子設備有限公司
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貨物所在地：江蘇蘇州市
所在地： 蘇州市吳江區柳胥路99號 半導
更新時間：2025-02-08 15:07:03
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氣密性測漏儀
皂膜氣體流量標準裝置
流量顯示儀
氣體質量流量計
氣體質量流量控制器
流量控制器
產品簡介詳細介紹
MFC330系列是熱式氣體質量流量控制器。由質量流量傳感器、分流結構、高精度比例閥和運放電路等部件組成。
流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產生的溫度場變化來測量氣體質量流量，通過電橋將溫度場的變化轉化為電信號并經過電路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量外標法和溫壓補償得到準確的真實氣體流量值。
氣體實際流量值與流量設定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與流量設定值相等，實現氣體流量的精準控制.
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