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合肥新元素科技裝備有限公司
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OYS-1200C-Ⅲ-PECVD系統爐
  • OYS-1200C-Ⅲ-PECVD系統爐
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貨物所在地:安徽合肥市

地: 安徽合肥

更新時間:2024-12-20 21:00:07

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PECVD系統爐,全稱等離子增強化學氣相沉積爐,是一種基于等離子體化學氣相沉積技術的薄膜沉積設備。其工作原理主要是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上產生輝光放電,使樣品升溫到預定的溫度。隨后通入適量的工藝氣體,這些氣體經過一系列化學反應和等離子體反應后,最終在樣品表面形成固態薄膜。

CVD系統(高真空)PECVD系統爐

OYS-1200C-Ⅲ+GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)

OYS-1200C-Ⅲ——翻蓋爐

一款三溫區開啟式管式爐,其最高溫度可以達到1200℃(1200℃<1H)。爐管為高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭,可以在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。CVD系統(高真空)PECVD系統爐對于控溫系統,可設置30段升降溫程序,控溫精度±1℃。

技術資料

產品型號

翻蓋爐  OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100、φ130)

主要產品參數

電源:220V  50/60Hz

額定功率:7.1 KW

最高工作溫度:1200℃(<0.5 h)

連續工作溫度:1100 ℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區長度:加熱區長度:900mm(三個溫區段都為300mm)

熱電偶:K型

外形尺寸:1675mm*645mm*865mm

爐體結構&溫控

爐體結構&溫控:采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統;爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,減少能量損失;內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命;三個溫區分別有三個獨立的溫控系統控制;包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能;控溫精度±1℃;默認DB9PC通信連接端口;可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據

加熱元件

鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb

爐管尺寸

石英管口徑可選φ50、φ60、φ80、φ100、φ130

真空密封

標配:一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈

選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數字式真空顯示計

法蘭接口

為了得到較好的真空狀態出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請咨詢我公司銷售經理

真空度

采用雙旋片式機械真空泵真空度可以達到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國產或進口高真空機組

可選

本公司還可以提供防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測量氣體種類不同而需要轉換系數

認證標準及核心零部件

CE、UL等認證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等采用ABB電器元件

售后

質保期一年,終身維護;24小時在線服務

注意事項

爐管內氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等);氣體的流量應限制在<200 SCCM(或200ml/ min)

免責聲明

本產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等) 僅供參考。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息,請與我司銷售人員聯系。本信息不構成任何要約或承諾,我司會不定期完善產品,恕不另行通知,請您見諒


質子供氣系統GYS-3Z參數表是一款低成本的流量計控制系統,其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上,便于操控的同時,可實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛應用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗。


一、OYS-300F風冷分子泵機組參數表產品簡介

此機組為風冷機組無需冷卻,本機組極限真空5*10-5Pa ,充分考慮到實驗室及一些研究院所的使用條件,大大方便了客戶的使用范圍,本產品為一鍵啟動模式,大大降低了對使用者的專業要求。JTFB-300F分子泵為抗沖擊型。

二、技術資料

產品型號

GYS-3Z

產品參數

電源:220V 50/60HZ

額定功率:23 W

流量計范圍:1-100SCCM;1-200SCCM;1-500SCCM

有一機械壓力表安裝在前面板上,與混氣管相連接

壓力表量程:-0.1~0.15MPa

混氣罐尺寸: φ80*120mm

氣口/閥門

內部連接管道為?6.35

產品尺寸

外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

重量

約30KG

產品特點

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其方便多重氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管

氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便

采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準確,方便操作

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸







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