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GYS-3F浮子供氣系統是一款二通道混氣系統（1單獨2混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、手套箱、等離子清洗機、CVD系統、小型PECVD系統等
產品型號 | 浮子供氣系統 GYS-3F |
產品特點 | 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續供氣系統。 尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。 氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。 顯示流量準確，可有效控制氣體的消耗量 設備底部有滾動輪，方便移動使用方便，無需通電 |
產品參數 | 浮子流量計量程: 10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min； 精度:4% 壓力表量程:-0.1-0.15MPa 通氣管道: φ6.35mm的聚四氟管 選配：浮子流量計量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。 |
混氣罐 | 內置一個不銹鋼混氣罐，可更好的混合氣體 混氣罐尺寸:直徑76*長154mm |
氣口/閥門 | 背面的進氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭，進氣口通過四氟管連接氣瓶，出氣口通過四氟管連接到設備的進氣口 兩個通道氣體進入混氣罐混氣，一個氣體通道獨立 前面板的四個不銹鋼針閥控制氣體的進出，獨立通道的進出氣不受針閥控制。 |
產品尺寸 | 外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm 重量：約30Kg |
售后 | 質保期一年，終身維護；24小時在線服務 |
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