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日本佳能anelva高抽速組合泵真空泵泵控制器 特點(diǎn)介紹
通過將鈦升華泵和三極管離子泵（貴族泵）組合在一起，組合泵利用離子泵輕松產(chǎn)生清潔超高真空的能力，并以低廉的價(jià)格獲得高抽速。
抽速大
每抽速1L/s的價(jià)格（包括控制裝置的價(jià)格）約為離子泵的1/2至1/3。
與相同抽速的離子泵相比，輕便緊湊
，體積和重量僅為1/5至1/10。因此，它可以很容易地安裝和從排氣系統(tǒng)中拆卸，并且可以在很小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高排氣速度。
氣相沉積設(shè)備、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、真空爐、各種分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備、排氣設(shè)備以及其他釋放大量氣體的超高真空系統(tǒng)。
日本佳能anelva高抽速組合泵真空泵泵控制器 規(guī)格參數(shù)
排氣速度/排氣流量參考圖1
工作壓力范圍10 -1 Pa 至 10 -9 Pa
烘烤溫度最高250℃
大量的約15公斤
進(jìn)氣法蘭φ152ICF法蘭
內(nèi)容積4.5升
適用控制裝置922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器
排氣速度/排氣流量見圖2
工作壓力范圍10 -1 Pa 至 10 -9 Pa
烘烤溫度最高250℃
大量的約25公斤
進(jìn)氣法蘭φ203ICF法蘭
內(nèi)容積約7.5升
適用控制裝置922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器
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