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日本Anelva寬量程電離真空計高精度真空測量 M-833HG 特點介紹
M-833HG 是微型 BA 儀表專用的控制單元。作為選件，還提供支持各種儀表、數據輸出等的擴展板。
通過組合微型 BA 真空計和 TC 真空計（可選）并安裝自動切換真空計的自動燈絲，可以實現從大氣壓到超高真空的高精度真空測量。非常適合安裝高真空至超高真空設備。
自動化真空設備的壓力測量
濺射等工藝壓力的測量和控制
多室系統中的壓力測量
通用真空設備壓力測量
日本Anelva寬量程電離真空計高精度真空測量 M-833HG 規格參數
型號名稱M-833HG
測量球微型量規MG-2系列
壓力顯示范圍0.1×10 -7 ～ 1.32×10 1 Pa *1
壓力顯示自動測量量程切換
設定點2點標準裝備（集電極開路）
數模輸出0 至 10 V：尾數輸出、指數輸出
0 至 11 V：復合輸出或對數輸出
模擬輸出
（靜電計輸出）設置 APC 模式時（0.1 至 2.5 V）
設置正常模式時（0.1 至 1.6 V）
外部控制功能
（遠程操作）輸入 燈絲ON/OFF、
脫氣ON/OFF等
6種外部控制功能
輸出 6種狀態信號輸出
特殊功能APC兼容：量程保持功能
靜電計輸出功能
外形尺寸(mm)/質量H99×W209×D330，1.9 kg（未安裝選件板）
所需電源100 至 240 VAC *2
100 VA 或更少，50/60 Hz
發射電流10μA、100μA、1mA自動切換設定或固定設定
排氣柵極電流加熱方式
燈絲開關按鍵和遠程 I/O 操作
燈絲保護超范圍設定點或發射電流 ±50% 變化
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