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英國VacCoat濺射鍍膜機(jī)三靶渦輪分子泵陰極 DST3-T 特點(diǎn)介紹
DST3-T 是一種三靶渦輪分子泵多真空鍍膜系統(tǒng),將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機(jī)結(jié)合在一個緊湊的桌面系統(tǒng)中。
高真空系統(tǒng)適用于多種材料的沉積。三重磁控靶臺式濺射鍍膜機(jī)可以輕松地在蒸發(fā)和濺射條件之間切換(不同時)。
DST3-T配備了一個大室(直徑300毫米)和三個2英寸直徑的水冷陰極,使其適合長時間濺射沉積。磁控臺式濺射鍍膜機(jī)配備射頻和直流電源。它可以濺射半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬(氧化和貴金屬)靶材。
配備射頻電源的 DST3-T 濺射鍍膜系統(tǒng)配備自動調(diào)節(jié)匹配箱,可最大限度地降低射頻濺射過程中的反射功率。DST3-T 型號包含可選功能,可增加鍍膜對基材的附著力并改善薄膜結(jié)構(gòu),例如安裝 500 ?C 加熱器以在沉積過程中加熱基材,或向基材施加 300 V DC 偏置電壓。
英國VacCoat濺射鍍膜機(jī)三靶渦輪分子泵陰極 DST3-T 規(guī)格參數(shù)
內(nèi)置渦輪泵,真空度高
雙級旋片前級泵(隔膜和渦旋泵)
適用于金屬、半導(dǎo)體和電介質(zhì)的直流和射頻(可選)電源
三個 2" 水冷成角度磁控管陰極,適用于生產(chǎn)合金薄膜 (DST3-TA) 和多層沉積
用于 DST3-TS 的大型樣品架臺(8 英寸)
專為大型基板均勻沉積而設(shè)計的陰極掩模 (DST3-TS)
兩個固定和可移動石英晶體監(jiān)測系統(tǒng),用于實(shí)時厚度測量(1 nm 精度)
通過兩個精密質(zhì)量流量計 ( MFC )進(jìn)行氣體注入控制,以精細(xì)控制真空壓力和氬氣流量或反應(yīng)濺射氣體
全量程真空計
陰極選擇電機(jī)
樣品旋轉(zhuǎn)、高度和傾斜可調(diào)(適用于 3 英寸樣品架)
三個手動或電子(可選)百葉窗
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