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日本mitaka非接觸式微透鏡陣列三坐標測量機 MA系列 特點介紹
配備了NH系列的所有基本形狀測量功能，可以測量透鏡和模具的橫截面形狀，并使用專用軟件一次性測量曲率和中心坐標。
可以使用高精度圖像處理來評估鏡片的光學特性。
評價項目：有效焦距/后焦距/透過率/焦點位置/焦深/MTF
矩陣創(chuàng)建軟件
專用矩陣測量軟件可記憶陣列模式并允許順利自動測量。
非常適合 MLA 的研發(fā)和質量控制，MLA 的尺寸越來越細、面積越來越大。
NH顯微鏡部分可配備Nomarski微分干涉光學系統(tǒng)。
該光學系統(tǒng)可以直觀地捕獲數十埃的表面粗糙度和劃痕，這是普通明場光學系統(tǒng)無法觀察到的，并且可以使用激光探頭在現(xiàn)場進行定量粗糙度和臺階測量。
日本mitaka非接觸式微透鏡陣列三坐標測量機 MA系列 規(guī)格參數
使用鏡片形狀測量
激光探頭進行測量
- 各鏡片表面的曲率半徑、中心坐標值
、圓度
、頂點高度、XY坐標
、截面、三維形狀測量、表面粗糙度測量
通過圖像處理進行測量
?有效焦距
?后焦距、MLA有效焦距
?各鏡頭的對焦位置及位置偏移
?各鏡頭的對焦光斑尺寸
?透過率
?焦平面處的成像評價（彗形像差、畸變像差等）
-深度焦點（可選）
- MTF 測量（可選）
移動范圍（X、Y、Z、AF）
100, 100, 100, 10毫米
XY軸刻度分辨率
0.1μm
AF軸刻度分辨率
0.01μm
測量原理
點自動對焦方法 ISO 25178-605
激光
λ = 635nm 輸出小于 1mW
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