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高速TDI-sCMOS相機 Dhyana 9KTDI Pro（簡稱：D 9KTDI Pro）背照式TDI 相機基于*的sCMOS 背照式減薄和TDI 時間積分技術，采用可靠穩定的制冷封裝技術，覆蓋從180 nm 紫外到1100 nm 近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導體晶圓缺陷檢測、半導體材料缺陷檢測、基因測序等應用提供更高效率、更穩定的檢測支持。

180nm-1100nm 寬光譜

高速TDI-sCMOS相機 Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技術，已驗證的響應波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區域。256級 TDI技術可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設備檢測精度。

600 kHz @ 9K 超高速線掃

Dhyana 9KTDI Pro 配備CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其傳輸效率相當于背照式 CCD-TDI 相機的54倍，顯著提升設備的檢測效率。Dhyana 9KTDI Pro的相機行頻最高可達 9K @ 600 kHz，為行業提供快速的多級TDI線掃描解決方案。

先制冷降噪技術

相機高速運行時產生的大量熱量，不僅會影響成像質量，還會引起測量結果的波動。鑫圖*水冷和風冷技術，確保相機制冷性能即使長時間運行也能保持穩定狀態，降低設備誤檢率。

典型應用參考