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壓電·六軸并聯 Free6D.3-2.150.G2

? 多軸姿態同時調節、結構穩定、剛性高

• 由納米級驅動單元實現的六自由度并聯結構，有效降低累積誤差；

• 多軸姿態同時調節、結構穩定、剛性高；

• 平動行程：X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm；

• 角擺行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；

• 最小步伐：0.1 μm/5 μrad；

• 可提供真空環境規格；

• 控制器：根據用戶輸?的位移指令，實現對位移臺六軸空間姿態的運動調節

• 控制方式：各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現閉環控制；通過專用軟件，實現對六軸并聯運動的解算，分配到各驅動單元模塊，實現六軸空間姿態的同時調節；

• 控制軟件：提供PC端使用軟件，支持labview，串口命令集控制

壓電六軸并聯位移臺，六自由度，兼容高真空——詳細參數：

壓電六軸并聯位移臺，六自由度，兼容高真空——尺寸圖：