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中級會(huì)員 | 第2年

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管理制造設(shè)備上的薄膜厚度測厚儀
  • 管理制造設(shè)備上的薄膜厚度測厚儀
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更新時(shí)間：2024-11-02 15:36:54

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管理制造設(shè)備上的薄膜厚度測厚儀，通過使用具有高平整度的晶圓卡盤，提高晶圓表面的測量可靠性
通過自動(dòng)檢測缺口和無花柱位置，以及自動(dòng)檢測晶圓偏心率，實(shí)現(xiàn)高精度測量。

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映射涂層測厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動(dòng)映射膜厚測量。 自動(dòng)對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實(shí)現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。 此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時(shí)管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。


    • 1

    • 能夠?qū)ψ畲?300 mm 的晶圓的整個(gè)表面進(jìn)行自動(dòng)涂層厚度映射測量


    • 2

    • 自動(dòng)對位功能


    • 通過自動(dòng)檢測缺口和無花柱位置，以及自動(dòng)檢測晶圓偏心率，實(shí)現(xiàn)高精度測量。

    • 3

    • 通過使用具有高平整度的晶圓卡盤，提高晶圓表面的測量可靠性


    • 4

    • 可根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源。


    • 5

    • 透明蓋，便于在測量過程中查看運(yùn)動(dòng)


    • 6

    • 一體化節(jié)省空間的設(shè)計(jì)



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