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寫真化學自動對位功能測厚儀
  • 寫真化學自動對位功能測厚儀
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貨物所在地:北京北京市

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更新時間:2024-11-02 15:32:59

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寫真化學自動對位功能測厚儀,能夠對最大 300 mm 的晶圓的整個表面進行自動涂層厚度映射測量

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映射涂層測厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動映射膜厚測量。 自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實現可靠的薄膜厚度測量。 此外,它可以安裝在半導體制造設備的負載端口,以在保持清潔度的同時管理制造設備上的薄膜厚度。


  • 測量數據示例(2D 膜厚分布)層壓晶圓的硅
    厚度 (nm)

  • 測量數據示例(3D 薄膜厚度分布)層壓晶圓的硅厚度
    (nm)

  • 測量數據示例(薄膜厚度的頻率分布)層壓晶圓中的硅厚度

  • 測量數據示例(多個晶圓的膜厚分布箱線圖)5 個晶圓的膜厚分布趨勢


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