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寫真化學用于沉積拋光和蝕刻過程中測厚儀
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貨物所在地:北京北京市

地: 日本

更新時間:2024-11-02 15:14:05

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寫真化學用于沉積拋光和蝕刻過程中測厚儀,反射涂層厚度監測儀是一種光學干涉反射光譜涂層測厚儀,它使用微型反射探頭,可應用于從實驗室級別到生產過程中的在線檢查的所有情況。 它具有出色的可維護性,可用于集成到工藝設備和生產線管理應用中。最多可同時測量 9 種類型的透明膜。它具有出色的可維護性,可用作工藝設備或生產線管理應用的集成。

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反射涂層厚度監測儀是一種光學干涉反射光譜涂層測厚儀,它使用微型反射探頭,可應用于從實驗室級別到生產過程中的在線檢查的所有情況。 它具有出色的可維護性,可用于集成到工藝設備和生產線管理應用中。
最多可同時測量 9 種類型的透明膜。
它具有出色的可維護性,可用作工藝設備或生產線管理應用的集成。
例如,在沉積、拋光和蝕刻過程中,它可以用作在線監視器或終點監視器(終點檢測傳感器),從而實現薄膜厚度的實時監控(實時監控)。
它還可用于評估多晶硅的結晶度多孔薄膜的密度

設備配置


光束形狀

探針到被測樣品的距離為 30 mm 時的模擬結果

照明區域 測量區域

測量目標

  • 半導體
    半導體

  • 太陽能電池
    太陽能電池

  • 平板顯示器
    平板顯示器

  • 玻璃(涂層)和薄膜
    玻璃(涂層)和
    薄膜





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