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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,綜合 |
德國SPS-POLOS旋涂機SPIN200i為小批量生產而設計
POLOS 為半導體、生命科學、食品、實驗室和制藥行業提供高設備，特別是為大學、研發機構和小型生產設施提供支持。我們的產品組合包括用戶友好和高度耐用的系統，主要應用于光刻和配置工藝領域。POLOS 公司成立于 2003 年，第一條產品線是單晶片旋轉涂層系統。
主要產品：
SPS-POLOS旋涂機
SPS-POLOS勻膠機
SPS-POLOS光刻機
SPS-POLOS Spin200i旋涂機
POLOS Spin200i 是一種多功能、高質量的基材旋涂機，由 PTFE 或 NPP 制成。它專為研發和小批量生產而設計。臺式型號可手動或自動（可選）分配化學品。
適用于鍍膜、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。
適用于最大 8 英寸（200 毫米）晶圓
適用于最大 6 英寸 x 6 英寸（150 毫米）基板
材料 天然聚丙烯 (NPP)
12.000 RPM（取決于基底/卡盤）
高加速度和高精度
手動化學品分配
CW 和 CCW 旋轉
帶可定制圖標的彩色觸摸屏
USB 端口
型號示例：
SPS-POLOS旋涂機SPIN150X
SPS-POLOS旋涂機SPIN200i
SPS-POLOS旋涂機SPIN4000A
SPS-POLOS旋涂機SPIN5000A
德國SPS-POLOS旋涂機SPIN200i為小批量生產而設計
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